蘇揚看了半秒劉元龍，道：“這些設備，的確是最新的半導體核心設備，尤其是光刻機?！?p> 說著，指著光刻機道：“這臺光刻機里面的激光器、光束矯正器、能量控制器、光束形狀設置、遮光器、能量探測器、掩模版都是國際最前沿的技術產(chǎn)品?！?p> 蘇揚繼續(xù)道：“另外，掩膜臺的運動控制精度達到納米級，物鏡、量臺、曝光臺、內(nèi)部封閉框架、減振器等物，也都是目前最先進的產(chǎn)品?！?p> “當然，最主要的還...
蘇揚看了半秒劉元龍，道：“這些設備，的確是最新的半導體核心設備，尤其是光刻機?！?p> 說著，指著光刻機道：“這臺光刻機里面的激光器、光束矯正器、能量控制器、光束形狀設置、遮光器、能量探測器、掩模版都是國際最前沿的技術產(chǎn)品?！?p> 蘇揚繼續(xù)道：“另外，掩膜臺的運動控制精度達到納米級，物鏡、量臺、曝光臺、內(nèi)部封閉框架、減振器等物，也都是目前最先進的產(chǎn)品?！?p> “當然，最主要的還...