第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機(jī)
“岸然,這事我必須當(dāng)面和你說(shuō)清楚,這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝,不過(guò)其中有四臺(tái),和其他的有些區(qū)別。”
王岸然一下來(lái)了興致。
“有什么不一樣?”
“有三臺(tái)使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺(tái)……”
“張教授,你倒是說(shuō)啊!”
張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說(shuō)道:“岸然,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,現(xiàn)在看來(lái),只是沒(méi)找到你感興趣的東西...