第九十四章 光刻機(jī)比想象的容易

　　光刻機(jī)很難。

　　真的非常非常難。

　　難度系數(shù)是氫彈的十倍。

　　哪怕傾舉國(guó)之力也不可能在短期內(nèi)拿得下。

　　以上這些，是經(jīng)常充斥在衛(wèi)明耳邊的話(huà)，聽(tīng)得他幾乎耳朵長(zhǎng)繭。

　　真的有那么難么？

　　這些天，親自進(jìn)入研發(fā)工廠，了解透了光刻機(jī)的工作原理，在“老板工作間”內(nèi)，利用體內(nèi)的小黑，輕松打磨出幾十個(gè)合格的高精密零件，以及20塊的“鍋蓋”鏡片——每塊“鍋蓋”鏡片，由四十層玻璃疊加而成，表面凸起都不得超過(guò)1納米。

　　“很簡(jiǎn)單嘛，好像沒(méi)什么難的?！?p>　　看著面前成批成批的精度完全合格的零件，衛(wèi)明撇了撇嘴說(shuō)道。

　　“到底難在了什么地方？”

　　“光源發(fā)生器非常難?！?p>　　蒲偉才說(shuō)道：“要制造出波長(zhǎng)13.5納米的極紫外光，必須要用193納米波長(zhǎng)的深紫外光，擊打自由落體的金屬錫滴，并且要在極短的時(shí)間內(nèi)，連續(xù)擊中錫滴兩次，每秒重復(fù)5萬(wàn)次，才能產(chǎn)生足夠強(qiáng)度的極紫外光。”

　　要知道金屬錫滴的直徑只有二十微米。

　　自由落體過(guò)程中，不僅要被激光擊中，由水滴狀攤平成圓餅狀，再進(jìn)行第二次擊打，才能擊發(fā)出最強(qiáng)烈的極紫外光……整個(gè)過(guò)程，完全是動(dòng)態(tài)中發(fā)生的，如同用繡花針擊中蒼蠅，而且要連續(xù)擊中兩次。

　　并在一秒內(nèi)，重復(fù)五萬(wàn)次這套操作。

　　“你不是說(shuō)已經(jīng)解決光源問(wèn)題了么？而且能源利用率達(dá)到了5%？”衛(wèi)明不解的道。

　　“光源是解決了，是因?yàn)槲覀冇玫膿舸蚬庠?，是特殊晶體擊發(fā)出的132納米光，能量利用率肯定比193納米光高的多，但要想制造強(qiáng)度足夠的13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光，還是得通過(guò)擊打錫滴的方式達(dá)到，這是唯一可行的路徑?！?p>　　“也就是說(shuō)，你們只搞定了擊打光源，然后就說(shuō)搞定了光源……這兩個(gè)不是一碼事吧？”

　　衛(wèi)明眉頭皺了起來(lái)。

　　“衛(wèi)總，不是我們愛(ài)搞虛假宣傳，可是長(zhǎng)期的科學(xué)研究，如果沒(méi)有點(diǎn)成果的話(huà)，誰(shuí)會(huì)關(guān)注我們，上面怎么給我們撥款？所以哪怕只是部分突破，也得重點(diǎn)宣傳一番?！?p>　　一旁的向廣林解釋說(shuō)道。

　　“我們正在攻克的最后一項(xiàng)技術(shù)難題，就是錫滴的擊打頻率問(wèn)題?！?p>　　蒲偉才也道：“我們已經(jīng)解決了連續(xù)擊打問(wèn)題，但每秒最多重復(fù)5000次，不過(guò)我們的能量利用率更高，只需做到每秒重復(fù)2萬(wàn)次，就有足夠使用的光照強(qiáng)度了?！?p>　　“所以我們的能量利用率不是沒(méi)有意義，每秒2萬(wàn)次比每秒5萬(wàn)次，明顯容易實(shí)現(xiàn)多了?！?p>　　“每秒2萬(wàn)次……”

　　衛(wèi)明沉吟了一下，道：“還缺什么條件，阻止你們達(dá)到這個(gè)頻率？”

　　“精度，控制系統(tǒng)的精度?！?p>　　蒲偉才說(shuō)道：“如同一個(gè)時(shí)鐘，同時(shí)精確掌控2萬(wàn)滴錫滴的自由下落，以及4萬(wàn)次的擊打，時(shí)間上，每秒內(nèi)的誤差，不得超過(guò)十億分之一秒；距離上，每秒不能超過(guò)1納米，并且還要設(shè)計(jì)一套‘偏差糾正’系統(tǒng)，只要誤差累積過(guò)大，就會(huì)自動(dòng)糾正，讓系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)下去。”

　　“目前我們正在全力攻克控制系統(tǒng)，糾偏系統(tǒng)稍稍靠后，但也安排了團(tuán)隊(duì)進(jìn)行攻關(guān)?！?p>　　“當(dāng)然如果從島國(guó)進(jìn)口的相關(guān)零件，很快能到我們手中，可能三個(gè)月內(nèi)，我們就能實(shí)現(xiàn)擊打頻率突破2萬(wàn)次?！?p>　　島國(guó)？

　　三個(gè)月？

　　衛(wèi)明搖頭笑了笑，道：“缺什么零件，就交給我吧，我給你們搗鼓出來(lái)?！?p>　　接著他連續(xù)搗鼓了三天時(shí)間。

　　激光頻率控制器。

　　高靈敏距離感應(yīng)器。

　　還有這個(gè)什么器，那個(gè)什么裝置，以及衛(wèi)明叫不出專(zhuān)業(yè)名稱(chēng)的東西。

　　三天內(nèi)他一共搞了十幾個(gè)。

　　然后讓蒲偉才他們，把這些裝置，塞入到控制系統(tǒng)中，以極高精度要求，組裝到了一起。

　　再開(kāi)啟了試運(yùn)行。

　　“釋放錫滴，初始頻率每秒1滴。”蒲偉才進(jìn)行指揮說(shuō)道。

　　“開(kāi)始釋放?！?p>　　“兩次擊打成功，攤平形狀完美，激發(fā)效果完美！”

　　“增加釋放頻率?！?p>　　“每秒50次試驗(yàn)成功?！?p>　　“每秒500次試驗(yàn)成功！”

　　“每秒5150次試驗(yàn)成功！追平最高紀(jì)錄。”操作員聲音微顫的道。

　　“繼續(xù)增加！往上加高一點(diǎn)！”

　　蒲偉才也開(kāi)始激動(dòng)了，這才第一次進(jìn)行調(diào)試而已，居然就追平了上一套零件不斷調(diào)試數(shù)百次創(chuàng)造的最高紀(jì)錄？

　　“每秒5500次試驗(yàn)成功，創(chuàng)造新的紀(jì)錄！”

　　“再加！”

　　每秒7000

　　每秒9000

　　每秒1萬(wàn)

　　……

　　一直加到每秒2萬(wàn)，滿(mǎn)足使用頻率要求。

　　所有人都被震驚到麻木，依然是取得成功！

　　“再加，再往上加！”

　　每秒3萬(wàn)

　　每秒4萬(wàn)

　　每秒4萬(wàn)5

　　每秒5萬(wàn)！

　　“錫滴釋放頻率達(dá)到上限，特么還是取得成功！”操作員毫無(wú)形象的狂喊。

　　“轉(zhuǎn)化光強(qiáng)是額定光強(qiáng)的2.5倍！”

　　向廣林眼睛通紅的大吼：“這意味著這臺(tái)光刻機(jī)處理晶元的效率，至少艾思邁EUV的兩倍以上，我們一臺(tái)，能頂他們兩臺(tái)！”

　　“你們別叫！”

　　蒲偉才高高揮起了手，目光盯著持續(xù)時(shí)間后的數(shù)據(jù)，極力壓制情緒的說(shuō)道：“看看每秒5萬(wàn)滴錫滴，每秒10萬(wàn)次擊打的情況下，這個(gè)系統(tǒng)能穩(wěn)定工作多長(zhǎng)時(shí)間？你們別吵，你們的噪音，可能影響到它的發(fā)揮?！?p>　　所有人都安靜了下來(lái)。

　　屏住了呼吸。

　　目光都死死盯上了持續(xù)時(shí)間。

　　5分鐘

　　15分鐘

　　第29分38秒

　　由于累積誤差越來(lái)越大，沒(méi)有糾偏系統(tǒng)進(jìn)行糾正，整個(gè)系統(tǒng)終于自動(dòng)停止了運(yùn)行。

　　啪！

　　蒲偉才右拳用力轟擊自己左掌，滿(mǎn)臉漲紅的說(shuō)道：“3分鐘就足夠了，只要3分鐘，就不用配套設(shè)計(jì)非常復(fù)雜的糾偏系統(tǒng)了，沒(méi)想到它堅(jiān)持了足足半個(gè)小時(shí)！我們只需設(shè)計(jì)一套非常簡(jiǎn)單的糾偏系統(tǒng)，就能讓它長(zhǎng)期穩(wěn)定的工作了，整個(gè)系統(tǒng)的復(fù)雜度至少降低10%，為我們省下大量的時(shí)間！”

　　“太厲害了，太神奇了！”

　　作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，他自己也大呼小叫：“光源問(wèn)題徹底解決了，雙工臺(tái)現(xiàn)成就有，鏡頭完全能用，我們的EUV光刻機(jī)，完成度至少超過(guò)90%！”

　　“我們完全看到勝利的希望了！”

　　說(shuō)著，他淚如壩崩，幾欲捧面大哭一場(chǎng)。

　　堅(jiān)持十幾年了！這一次，他是真的看到希望了，就在他的面前，已然觸手可及。

　　見(jiàn)他如此，跟他一個(gè)團(tuán)隊(duì)的其他成員，也都擦著眼角，發(fā)出嗚嗚的聲音。

　　“還沒(méi)真成功呢，眼淚不如留到慶功宴。”

　　一個(gè)略有些掃興的聲音傳來(lái)。

　　卻聽(tīng)衛(wèi)明說(shuō)道：“蒲博士，剛才你還一臉抗拒的樣子，懷疑我打磨過(guò)的東西不能用，現(xiàn)在呢？信我說(shuō)的話(huà)了吧，零件問(wèn)題，對(duì)我公司不是個(gè)問(wèn)題，你說(shuō)的技術(shù)難點(diǎn)，感覺(jué)也不怎么難?！?p>　　“沒(méi)錯(cuò)沒(méi)錯(cuò)。”

　　蒲偉才連忙擦淚，露出一張童真笑臉：“衛(wèi)總你說(shuō)的沒(méi)錯(cuò)，只要衛(wèi)總出馬，光刻機(jī)，沒(méi)有任何什么難點(diǎn)，我相信在衛(wèi)總的帶領(lǐng)下，我們能解決一切技術(shù)問(wèn)題！”

　　他這次是真心服了，眼里只有崇拜。

　　“沒(méi)錯(cuò)，完全多虧了衛(wèi)總?！?p>　　“衛(wèi)總辛苦了，給衛(wèi)總捶捶肩。”

　　“衛(wèi)總的神級(jí)打磨，能創(chuàng)造工業(yè)上的奇跡！”

　　“衛(wèi)總才是最大的功臣，感謝衛(wèi)總?！?p>　　又一波馬屁聲覆蓋而來(lái)。

　　這一次，蒲偉才不僅沒(méi)有咳嗽制止，反而是里面拍的最厲害的那個(gè)。

　　當(dāng)然，馬屁聽(tīng)一小會(huì)就夠，衛(wèi)明讓他們馬上投入到工作中，繼續(xù)尋找問(wèn)題，解決問(wèn)題，直到?jīng)]有任何問(wèn)題為止。