倉耀祖對于光刻技術的發(fā)展還是很了解的，無論是沉浸式光刻，還是極紫外光刻EUV，不過，倉耀祖手里沒人啊?？磥淼萌ズ鲇坪鲇评蠗?。給老楊上上眼藥。
說到光刻技術，還不能不提英特爾，那句Intel Pentium inside的廣告很牛逼啊，給電腦一顆奔騰的芯，嘿嘿，不行，還得和英特爾搗搗亂。
倉耀祖直接找上了老楊的辦公室，并不是楊崇山，他只能算小楊，老楊是清大的校長楊斯正，然后直接開撩，不對，是聊：“老楊啊，不用二十年，國內的半導體進口數(shù)值肯定會突破5000億華夏元的規(guī)模，全球半導體產值最少會突破3萬億華夏元，這么大的盤子，咱們不能拱手讓人啊，這么大的蛋糕，咱們要是只能看著卻吃不著，你們清大就是國家的罪人啊。”
“你就不是罪人嗎？”
“我當然不是了，我可不是搞半導體的?！?p> “好吧，你確實不是搞半導體的。可是光刻機這一塊兒可不好搞啊。人家有先發(fā)優(yōu)勢的，現(xiàn)在是市場經(jīng)濟，大家都是利益為先。我們這邊研究出來一代光刻機，人家就把比我們更強更便宜的光刻機賣進國內來了，他們是良性循環(huán)，咱們是惡性循環(huán)。研發(fā)就陷入了無水之源，投入不起啊。企業(yè)們也都抱著造不如買，買不如租的思想，根本不想投入研發(fā)啊?！?p> “老楊啊，你知道溫水煮青蛙嗎？咱華夏就是這只青蛙啊，等到光刻機的研發(fā)徹底斷檔斷代，人家不賣給你了呢，不但機器不賣給你，芯片都不賣給你了呢，你應該知道，冷戰(zhàn)啊，貿易戰(zhàn)啊，局部戰(zhàn)爭啊，這些發(fā)生的概率是100%的，到時候，斷炊的那些企業(yè)會不會戳你們清大以及華科院的脊梁骨罵娘啊?！?p> “到那時候啊，我都退休了，說不定還入土了，罵也罵不到我的頭上?！?p> “呵呵，就算你聽不到，也會把你掛在歷史的恥辱柱上。趨利避害確實是企業(yè)的市場本能，可國家能和企業(yè)一樣的思維嗎？大學能和企業(yè)一樣的思維嗎？這么發(fā)展下去，咱們華夏的半導體行業(yè)就會變成一頭只知道耕地的牛，鼻環(huán)卻握在別人的手里，你說這事兒嚇人不？”
“別和我說這些大道理了，我懂得比你多，你小子就和我說怎么辦吧，我知道你這是又要搞事情了，來，來，我老楊等著，等著你拿錢砸死我?！?p> “美死你，憑什么我拿錢啊，我拿得起嗎我？那5千億，上萬億的市場又不給我，我犯不上，正所謂在其位謀其政，我既不是國家領導，又不是清大校長，讓我拿錢？我拿不著啊。我啊，今天就是給你出出主意，好讓你啊以后的幾十年能過得問心無愧?！?p> “好，好，你說吧，只要你的主意有用，我就是去求爺爺告奶奶，去作揖下跪，我都去把錢弄來?！?p> “用不著，你們那么多校友呢，你看燕郵募集來多少錢了啊，你們這體量，不可能募集不來一些資金啊，先啟動了再說唄，后面有國家有銀行呢。要打破這個怪圈，只有兩個辦法，一個是國家死命砸錢根本不管怎么虧，虧一年能虧出去個5000億嗎？虧不了。這樣集中力量辦大事，發(fā)動能發(fā)動的一切力量，不按套路出牌，超速發(fā)展，一舉追上他們。第二個辦法就是等，等領先者遇到瓶頸了，他們有個坎兒很難邁過去，而你又咬緊牙關砸錢虧錢追，肯定能追上?！?p> “你說得輕巧，國家現(xiàn)在哪兒哪兒都是窟窿，哪兒哪兒都要發(fā)展，半導體這個行業(yè)不是靠投入就能投出來的。你第二個辦法更不靠譜?！?p> “第一個辦法要有力度，最大的力度。第二個辦法還真就靠譜，他們馬上就要碰到坎兒了。業(yè)界普遍認為193nm光刻無法延伸到65nm技術節(jié)點，而157nm將成為主流技術。然而，157nm光刻技術遭遇到了來自光刻機透鏡的巨大挑戰(zhàn)。這是由于絕大多數(shù)材料都會強烈地吸收157nm的光波，所以這個就是他們的坎兒?！?p> “你仔細和我說說?！?p> “現(xiàn)在國外幾家大廠都是使用DUV，也就是深紫外光，通過氟化氪KrF 準分子激光來產生波長248 nm的光，這種光刻機是現(xiàn)在的主流，他們實驗室里現(xiàn)在已經(jīng)基本研發(fā)完了通過氟化氬ArF準分子激光來產生波長193 nm光波的下一代光刻機，193nm光刻機沒問題。但用F2準分子激光產生波長157nm的光就是個大坑了，他們過不去了，技術解決不了。瓶頸出現(xiàn)了，咱們追趕的機會來了?！?p> “那他們的解決辦法是什么？”
“研發(fā)EUV光刻機，也就是極紫外光刻技術。極紫外光刻使用波長在13.5nm的軟X射線來光刻，相當于用了一把更小、更鋒利的‘刀’。極紫外光刻是5nm等更先進制程的必需工藝。但因為EUV不能穿透透鏡，只能用特殊的反射鏡來對焦，這樣EUV的能量損失會很大，需要更長的曝光時間，會嚴重影響生產速度，這也就是EUV光刻機難以大規(guī)模量產的原因。因此我確信EUV光刻技術15年內完成不了原型機，20年內量產無望?！?p> “你確定？”
“我十分確定一定以及肯定。我了解到的信息是荷蘭阿斯麥公司會聯(lián)合花旗國的幾家企業(yè)攻堅EUV這個難題，不帶咱們玩，當然，他們也不代表日系廠商玩。尼康和佳能會死磕157nm光刻機，這個是死路一條，等到他們衰落下去了咱們可以聯(lián)合他們在國內建廠，吸收他們的技術以后，再一起研發(fā)EUV光刻機，7nm以下的制程，DUV光刻機就不行了?！?p> “等等，你說DUV光刻不能達到7nm以下？那你的意思是說DUV光刻能突破65nm，甚至28nm、14nm直至7nm？”
“不錯，能，甚至14nm，7nm都可以，但比較麻煩?！?p> “怎么做？你怎么研究的？”
“怎么研究的你就別管了。我接下來說的話你誰都不能說，包括在網(wǎng)絡上，你看我特意找你辦公室來聊，連icq都不用，你就知道問題的嚴重性了?！?p> “有必要這么謹慎嗎？”
“當然有必要啦。此前，芯片制造工藝的更新?lián)Q代是以3年為一個周期，但Intel率先將這個周期縮短為2年。Intel公司在1995年實現(xiàn)了0.35微米工藝量產，1997年他們會推出0.25微米產品，1999年就是0.18微米工藝，到了2001年則實現(xiàn)0.13微米產品的量產。英特爾在忠實地踐行著摩爾定律啊?！?p> “兩年一個更新?lián)Q代，這是要弄死AMD啊。”
“這才好啊，這樣咱們就可以拉攏AMD，對抗intel了啊。不過呢，這只可能是一個幻想罷了，英特爾、AMD和微軟之間肯定是有默契的，他們會聯(lián)合起來搞死其他所有人，然后他們自己再慢慢玩，但英特爾和AMD誰也不會被玩死，否則他們就涉嫌壟斷了?！?p>