一位光學(xué)方面的專家發(fā)言道：“光源波長越短，傳播過程中越容易被透鏡吸收。下一代0.5微米光刻機，如果依舊使用高壓汞燈當(dāng)光源，使用現(xiàn)在的透鏡組合就足夠了，頂多加工精度再提高一些。如果使用準(zhǔn)分子激光做光源，透鏡系統(tǒng)就需要推倒重做，組合里至少增加兩枚玻璃透鏡，參數(shù)也要重新設(shè)計，還有鍍膜材質(zhì)也要重新開發(fā)。這方面研究需要盡快提上日程，如果開發(fā)新透鏡組合，需要的計算量非常的大，使用普通計算機計算，需要...