第47章 出發(fā),目標(biāo)上嶺大學(xué)
省城陵州市北郊陵州理工大學(xué),物理學(xué)院院長(zhǎng)辦公室。
“老師!找我啥事?”牛光輝急匆匆的從隔壁的副院長(zhǎng)辦公室趕了過(guò)來(lái)。
進(jìn)來(lái)后發(fā)現(xiàn),老師王修齊看著電腦顯示器,表情既驚喜又擔(dān)憂。
“光輝來(lái)了?!蓖跣摭R招招手,“你過(guò)來(lái)看看,剛剛校長(zhǎng)辦公室轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)一封邀請(qǐng)函,是上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心發(fā)的?!?p> “包師弟研究中心的邀請(qǐng)函?”牛光輝帶著疑問(wèn)來(lái)到了顯示器前。
他首先看的是發(fā)件人,還真是上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心。
一看內(nèi)容,寫的是邀請(qǐng)陵州理工參加7月4號(hào)的技術(shù)報(bào)告會(huì)。
及DYN-離子束拋光技術(shù)報(bào)告會(huì),還附上了光學(xué)鏡頭鏡片鏡面的加工精度。
看完后,他有點(diǎn)不敢相信。
“老師!包師弟做的第六次測(cè)試不是才失敗嗎?這才幾天,第七次測(cè)試就成功了?!迸9廨x一臉的疑惑。
“我也在奇怪啊!按理說(shuō)邀請(qǐng)函都發(fā)了,那肯定是成了,但我不放心。”王修齊一臉的擔(dān)憂,“這樣,你代表陵州理工去參會(huì),幫著你師弟把把關(guān)?!?p> “我去?老師!我做的EUV光源項(xiàng)目正是關(guān)鍵時(shí)刻,走不開(kāi)?!迸9廨x嘀咕著。
“關(guān)鍵時(shí)刻?我看是走進(jìn)了死胡同,趁著這個(gè)機(jī)會(huì)換換腦子,死磕是沒(méi)用的。”王修齊瞇著眼睛。
“那……好吧!我吃了午飯就過(guò)去?!迸9廨x有些失落。
他做的等離子體EUV光源遲遲不能突破,而且他感覺(jué)就差那么一點(diǎn)點(diǎn)了,真的就差那么一點(diǎn)點(diǎn)了。
錫滴在低功率二氧化碳激光的照射下,產(chǎn)生波長(zhǎng)13.5納米的紫外光非常穩(wěn)定,可一旦增加二氧化碳激光的功率,也就是強(qiáng)度,波長(zhǎng)13.5納米的紫外光就變得既其不穩(wěn)定。
為了解決這個(gè)問(wèn)題,他想了很多方案,可進(jìn)展并不理想。
“磨嘰啥!現(xiàn)在就去,午飯?jiān)诟哞F站吃?!蓖跣摭R站起來(lái)說(shuō),“對(duì)了!把蘇哲的錄取通知書(shū)帶上,和蘇哲說(shuō),讓他不要待在上嶺大學(xué)了,那邊條件太差,讓他來(lái)學(xué)校?!?p> 這次蘇哲給他狠狠的長(zhǎng)臉了。
徐正平校長(zhǎng)為了阻止他特招蘇哲,搗鼓出那份試卷,沒(méi)想到蘇哲如此給力,不僅證明了他自己,還狠狠的打了徐校長(zhǎng)的臉。
當(dāng)然,徐校長(zhǎng)被這樣的天才打臉,還挺開(kāi)心的。
“知道了老師!我馬上去?!迸9廨x說(shuō)著就離開(kāi)了。
“希望這次正義是真的突破了,不是大烏龍,畢竟國(guó)內(nèi)等高端光學(xué)鏡頭等的太久了,等EUV光刻機(jī)太久了,等高端芯片太久了?!蓖跣摭R看著牛光輝的背影,嘀咕著。
……
燕京,清大食堂。
司文博正吃著午飯,心中考慮著如何降低同步輻射EUV光源的能量消耗。
同步輻射作為EUV光刻機(jī)光源的一種實(shí)現(xiàn)方案,他把路子走通了,可缺點(diǎn)太明顯了。
太耗能了。
如果國(guó)內(nèi)EUV光刻機(jī)光源采用他們團(tuán)隊(duì)搞出來(lái)的同步輻射EUV光源,和國(guó)外相比,同樣的芯片,能耗是對(duì)方的二十倍,這樣的結(jié)果是他不能接受的。
他想了很多方案,唯一靠譜的是能量的回收,可加入能量回收系統(tǒng)后,整個(gè)EUV光源系統(tǒng)將會(huì)變得極其復(fù)雜,最為關(guān)鍵的是,目前的能量回收系統(tǒng)只能回收百分之十的能量,這無(wú)法達(dá)到他的心理預(yù)期。
正想的時(shí)候,他手機(jī)響了,拿出來(lái)一看,是校長(zhǎng)辦公室給他發(fā)的郵件。
內(nèi)容是讓他參加上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心的技術(shù)報(bào)告會(huì)。
看了光學(xué)鏡頭研究中心發(fā)的邀請(qǐng)函后,他不淡定了。
“這……這不會(huì)是烏龍吧!包正義他們第六次測(cè)試剛失敗,這才幾天,就突破了離子束拋光技術(shù),這加工精度,比歐羅巴的蔡斯都強(qiáng)……不行,現(xiàn)在就買機(jī)票,我倒要看看是不是真的突破了?!彼疚牟┼止局?p> 他隨便吃了幾口,把餐盤送到了回收區(qū),就急匆匆的離開(kāi)了食堂。
……
申城大江區(qū)申城微電子無(wú)塵工廠。
申城微電子總工程師潘飛鵬穿著無(wú)塵服,帶著口罩和護(hù)目鏡站在一臺(tái)設(shè)備的顯示屏前。
“不錯(cuò)!不錯(cuò)!這雙工件臺(tái)各種參數(shù)都可以了,上午就到這吧!大家準(zhǔn)備去吃飯!”潘飛鵬看著顯示屏上的參數(shù),對(duì)著周圍工程師們喊。
“吃飯了!”工程師們歡呼后陸陸續(xù)續(xù)的離開(kāi)了。
現(xiàn)場(chǎng)就剩下潘飛鵬和他的助理柳天昊。
“EUV光刻機(jī)?。∪箅y題,雙工件臺(tái)的問(wèn)題解決了,EUV光源的問(wèn)題也解決了,就剩下光學(xué)鏡頭了?!迸孙w鵬有些失落,“我最看好包正義的研究團(tuán)隊(duì),可他們的第六次測(cè)試也失敗了,也不知道國(guó)內(nèi)何時(shí)才能造出符合要求的光學(xué)鏡頭?!?p> “總工!清大搞出來(lái)的同步輻射EUV光源太耗能了,就算我們有了光學(xué)鏡頭,造出了EUV光刻機(jī),在國(guó)際上也沒(méi)有競(jìng)爭(zhēng)力?!绷礻恢毖浴?p> “小柳!我們目前要解決的是有沒(méi)有的問(wèn)題,等我們有了,能制造了,那怕能耗高,也比現(xiàn)在這樣隨便讓人家拿捏的好,至于競(jìng)爭(zhēng)力,我們可以慢慢來(lái)?!迸孙w鵬認(rèn)真的說(shuō)。
說(shuō)著,兩人來(lái)到了換衣間。
衣服換到一半的時(shí)候,潘飛鵬的手機(jī)響了,拿出來(lái)一看,是上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心發(fā)來(lái)的郵件。
他心中一喜,可想到包正義他們第六次測(cè)試才失敗,他又高興不起來(lái)了。
帶著疑惑點(diǎn)開(kāi)了郵件。
是一份邀請(qǐng)函,當(dāng)他看到DYN-離子束拋光技術(shù)技術(shù)報(bào)告會(huì)的時(shí)候,他意識(shí)到什么!
直接查看郵件的最后:
“第七次測(cè)試二組加工鏡片鏡面檢測(cè)精度,鏡面達(dá)到0.09納米的面型精度峰谷值和19皮米的表面粗糙度?!?p> 看到這樣的結(jié)果,他直接愣住了。
換完衣服的柳天昊發(fā)現(xiàn)了異常,他好奇的看向潘飛鵬手中的手機(jī)。
“這……這不可能吧!他們第六次測(cè)試才剛剛失敗,這才幾天,第七次測(cè)試就成功了,且這精度比歐羅巴的蔡斯都強(qiáng),這不會(huì)是個(gè)烏龍吧!”柳天昊一臉的不敢相信。
“小柳!趕緊買機(jī)票,我們現(xiàn)在就去上嶺大學(xué),是真是假到了就知道了?!迸孙w鵬收起手機(jī),一邊快速的換著衣服,一邊說(shuō)。
……
全國(guó)各地,收到上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心邀請(qǐng)函的三十三家高校、企業(yè)、機(jī)構(gòu)急忙忙的派人前往上嶺大學(xué)。
路途近的坐高鐵或者開(kāi)車,遠(yuǎn)的坐飛機(jī),甚至有包機(jī)的。
這些人之所以這么急,就是想確定上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心是否真的突破了。
在這些人趕往上嶺大學(xué)的時(shí)候,包正義、范曉明幾人正喝著茶。
蘇哲聽(tīng)著法務(wù)講解協(xié)議的內(nèi)容。
吾叫大師
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